真空系統(tǒng)主要包括真空泵和真空柱兩部分。
真空柱是一個(gè)密封的柱形容器。
真空泵用來(lái)在真空柱內(nèi)產(chǎn)生真空。有機(jī)械泵、油擴(kuò)散泵以及渦輪分子泵三大類，機(jī)械泵加油擴(kuò)散泵的組合可以滿足配置鎢槍的掃描電鏡的真空要求，但對(duì)于裝置了場(chǎng)致發(fā)射槍或六硼化鑭槍的掃描電鏡,則需要機(jī)械泵加渦輪分子泵的組合。成象系統(tǒng)和電子束系統(tǒng)均內(nèi)置在真空柱中。真空柱底端即為右圖所示的密封室，用于放置樣品。之所以要用真空，主要基于以下兩點(diǎn)原因:電子束系統(tǒng)中的燈絲在普通大氣中會(huì)迅速氧化而失效，所以除了在使用掃描電鏡時(shí)需要用真空以外，平時(shí)還需要以純氮?dú)饣蚨栊詺怏w充滿整個(gè)真空柱。
為了增大電子的平均自由程，從而使得用于成象的電子更多。
電子經(jīng)過(guò)一系列電磁透鏡成束后，打到樣品上與樣品相互作用，會(huì)產(chǎn)生次級(jí)電子、背散射電子、歐革電子以及X射線等一系列信號(hào)。所以需要不同的探測(cè)器譬如次級(jí)電子探測(cè)器、X射線能譜分析儀等來(lái)區(qū)分這些信號(hào)以獲得所需要的信息。雖然X射線信號(hào)不能用于成象，但習(xí)慣上，仍然將X射線分析系統(tǒng)劃分到成象系統(tǒng)中。
有些探測(cè)器造價(jià)昂貴，比如Robinsons式背散射電子探測(cè)器，這時(shí)，可以使用次級(jí)電子探測(cè)器代替，但需要設(shè)定一個(gè)偏壓電場(chǎng)以篩除次級(jí)電子

渦街
USF在60年代后期進(jìn)入工業(yè)應(yīng)用，80年代后期起在各國(guó)流量?jī)x表銷售金額中已占4%～6%。1992年世界范圍估計(jì)銷售量為3548萬(wàn)臺(tái)，同期國(guó)內(nèi)產(chǎn)品估計(jì)在8000～9000臺(tái)。
應(yīng)用領(lǐng)域
流量測(cè)量技術(shù)與儀表的應(yīng)用大致有以下幾個(gè)領(lǐng)域。

江蘇世通儀器檢測(cè)服務(wù)有限公司2012年由廣東世通出資2000余萬(wàn)元在江蘇昆山成立，地址位于江蘇昆山市昆嘉路379號(hào)。
江蘇世通擁有自主產(chǎn)權(quán)實(shí)驗(yàn)大樓，實(shí)驗(yàn)室面積達(dá)3000多平方米。2013年經(jīng)國(guó)家實(shí)驗(yàn)室認(rèn)可委員（CNAS）認(rèn)可，認(rèn)可號(hào)L6634，國(guó)際實(shí)驗(yàn)室互認(rèn)組織（ILAC-MRA）互認(rèn)授權(quán)！ 2014年由蘇州質(zhì)量技術(shù)監(jiān)督局備案。實(shí)驗(yàn)室校準(zhǔn)源，人才隊(duì)伍精良。中心設(shè)有：力學(xué)、長(zhǎng)度、衡器、電學(xué)、電磁、熱工、幾何量、輕工等校準(zhǔn)檢測(cè)實(shí)驗(yàn)室。
公司自成立以來(lái)深入貫徹世通儀器檢測(cè)自主創(chuàng)新理念，堅(jiān)持快速發(fā)展，不斷提高科技創(chuàng)新能力，深耕儀器檢測(cè)校準(zhǔn)細(xì)分領(lǐng)域，榮獲“昆山市科技研發(fā)機(jī)構(gòu)”、“國(guó)家高新”企業(yè)。
江蘇世通以江蘇為地基，輻射長(zhǎng)三角地區(qū)，圍繞本地化市場(chǎng)服務(wù)的需求，在儀器檢測(cè)校準(zhǔn)、證書認(rèn)證等領(lǐng)域拓展合作方式、優(yōu)化自身服務(wù)舉措，進(jìn)一步提高服務(wù)響應(yīng)機(jī)制，目前已經(jīng)于上海、南京、杭州、浙江、福建等眾多長(zhǎng)三角企業(yè)建立長(zhǎng)期合作關(guān)系，服務(wù)上千家中外企業(yè)客戶。

業(yè)務(wù)流程：
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2， 由我司業(yè)務(wù)提供書面報(bào)價(jià)及客戶確認(rèn)報(bào)價(jià)。

3， 雙方協(xié)商確認(rèn)校準(zhǔn)時(shí)間并安排工程師現(xiàn)場(chǎng)校準(zhǔn)。

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JU有資質(zhì)的第三方校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)室-并出具CNAS報(bào)告證書 世通儀器校準(zhǔn)中心是一家實(shí)驗(yàn)室規(guī)模雄厚且公司能力資質(zhì)的第三方校準(zhǔn)機(jī)構(gòu)，于2005年投入注冊(cè)資金1000萬(wàn)于廣東省東莞市成立間實(shí)驗(yàn)室，校準(zhǔn)中心占地6畝，實(shí)驗(yàn)室面積達(dá)1200平方米，擁有設(shè)備福祿克、惠普、安捷倫、菊水、新天等大批進(jìn)口國(guó)產(chǎn)儀器，覆蓋校準(zhǔn)檢測(cè)范圍廣。隨后又先后在江蘇昆山、四川重慶各投入資金1000萬(wàn)完成實(shí)驗(yàn)室，我司三個(gè)實(shí)驗(yàn)室技術(shù)服務(wù)成熟、機(jī)制完善，在十余年的校準(zhǔn)中與以下各企業(yè)開展校準(zhǔn)工作保持常年合作伙伴并獲得客戶一致滿意：三六一度(中國(guó))有限公司、安踏（中國(guó)）有限公司、 恒安集團(tuán)、特步（中國(guó)）有限公司、 勤上光電集團(tuán)勤上照明工程公司、中山華藝燈飾照明股份有限公司...

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流量?jī)x表系統(tǒng)常見故障及分析
（1）、流量指示值?。阂话阌梢韵略蛟斐?，檢測(cè)元件損壞（零點(diǎn)太低。；顯示有問(wèn)題；線路短路或斷路；正壓室堵或漏；系統(tǒng)壓力低；參與調(diào)節(jié)的參數(shù)還要檢查調(diào)節(jié)器、調(diào)節(jié)閥及電磁閥。
（2）、流量指示大：主要原因是負(fù)壓室引壓系統(tǒng)堵或漏。變送器需要調(diào)校的可能不大。
（3）、流量波動(dòng)大：流量參數(shù)不參與調(diào)節(jié)的，一般為工藝原因；參與調(diào)節(jié)的，可檢查調(diào)節(jié)器的PID參數(shù)；帶隔離罐的參數(shù)，檢查引壓管內(nèi)是否有氣泡，正負(fù)壓引壓管內(nèi)液體是否一樣高。