設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機械手（定位機構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

在電子槍中，自由電子是從熱金屬帶（或金屬絲）通過熱發(fā)射獲得的。然后通過三個電極產(chǎn)生的電場將它們加速并形成狹窄的會聚束：電子發(fā)射帶，連接到高壓（加速）電源（30-200 kV）負極和正極的陰極。高壓電極、陽極。第三個電極相對于陰極帶負電，稱為Wehnelt電極或控制電極。它的負電位控制發(fā)射的電子進入加速場的部分，即電子束電流。

通過聚焦透鏡后，光束可以直接或通過偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)偏轉(zhuǎn)后用于焊接。它由兩對線圈組成，每個X和Y方向一個。這些可以用于“靜態(tài)”或“動態(tài)”偏轉(zhuǎn)。靜態(tài)偏轉(zhuǎn)對于通過焊接定位梁很有用。動態(tài)偏轉(zhuǎn)是通過向偏轉(zhuǎn)線圈提供可由計算機控制的電流來實現(xiàn)的。這為電子束應(yīng)用開辟了新的可能性，例如表面硬化或退火，的電子束定位等。

真空工作室可以具有任何期望的體積，從幾升到幾百立方米。它們可以配備電子槍，以提供任何所需的功率高達100 kW的電子束，如果需要，甚至更高。在微電子束裝置中，尺寸可以到十分之一毫米的部件可以被焊接。在具有足夠高功率電子束的焊機中，可以實現(xiàn)300 mm深的焊接。還有一些焊接機，其中電子束從真空中帶到大氣中。使用這種設(shè)備，無需的工作室即可焊接非常大的物體。

高壓設(shè)備還為陰極加熱提供5 V以上的低壓，為控制電極提供高達約1000 V的負電壓。電子槍還需要用于校正系統(tǒng)，聚焦透鏡和偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)的低壓電源。如果要提供計算機控制的成像，雕刻或類似的光束應(yīng)用，后提到的可能會非常復(fù)雜?？赡苓€需要復(fù)雜的電子設(shè)備來控制工件機械手。

電子束焊機加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會集，可以把一千瓦或更高的功率會集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴散，就已把局部材料瞬時熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機照耀點亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點或許到達很深的深度，從而可打出很細很深的微孔。

電子束焊是熔化焊的一種，它運用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機提示它包含了機械、真空、高電壓和電磁場理論、電子光學(xué)、自動控制和計算機等多學(xué)科技術(shù)。這也是干式螺桿真空泵廠家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

電子束焊技術(shù)早于1948年源起于德國，1952年制作了臺電子束加工機，1958年誕生了臺電子束焊機。真空電子束焊機提示它的基本原理是：真空條件下，電子槍發(fā)射的電子束在高電壓（通常是20kV～300kV）加快下（0.3～0.7倍的光速），通過電磁透鏡聚集成高能量密度的電子束，當(dāng)電子束炮擊工件時，電子的動能轉(zhuǎn)化為熱能，焊區(qū)的部分溫度突然上升到6000℃以上，使工件材料熔化，完結(jié)焊接。

電子束焊機還有一些輔佐設(shè)備，比如電子槍，渙散泵以及渦輪分子泵等，作業(yè)時均會發(fā)熱，為堅持正常作業(yè)，這些都需求用循環(huán)水進行冷卻。因此，真空電子束焊機還需求制作有冷卻水的系統(tǒng)，包括水的凈化過濾及軟扮裝。 其他真空系統(tǒng)各級閥門一般要求用壓縮空氣，因此需求有供氣系統(tǒng)及凈化壓縮空氣的油水分離設(shè)備。