電子束焊接（EBW）是一種融合焊接工藝，其中將高速電子束施加到兩種要連接的材料上。當(dāng)電子的動(dòng)能在撞擊時(shí)轉(zhuǎn)化為熱量時(shí)，工件熔化并一起流動(dòng)。電子束焊接通常在真空條件下執(zhí)行，以防止電子束散逸。

設(shè)備包括：

電子槍，產(chǎn)生電子束，
工作腔，大部分被抽成“低”或“高”真空，
工件機(jī)械手（定位機(jī)構(gòu)），
電源以及控制和監(jiān)視電子設(shè)備。

為了使電子槍正常工作，相對(duì)于加速電子透鏡和磁聚焦透鏡的光軸地調(diào)整電子束。這可以通過在聚焦透鏡之前施加一些特定的徑向方向的磁場和垂直于光軸的強(qiáng)度來完成。這通常是通過一個(gè)簡單的校正系統(tǒng)來實(shí)現(xiàn)的，該校正系統(tǒng)由兩對(duì)線圈組成。通過調(diào)節(jié)這些線圈中的電流，可以產(chǎn)生任何所需的校正場。

快速偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)也可以用于成像和雕刻（如果配備了適當(dāng)?shù)碾娮釉O(shè)備）。在這種情況下，設(shè)備像掃描電子顯微鏡一樣操作，分辨率約為0.1毫米（受光束直徑限制）。在類似的模式下，由計(jì)算機(jī)控制的細(xì)光束可以通過熔化薄的表面層在金屬表面“寫”或“畫”圖片。

電子束焊機(jī)加工是在真空條件下，利用電流加熱陰極發(fā)射電子束，帶負(fù)電荷的電子束高速飛向陽極，途中經(jīng)加快極加快，并經(jīng)過電磁透鏡聚集，使能量密度十分會(huì)集，可以把一千瓦或更高的功率會(huì)集到直徑為5～10μm的斑駁上，獲得高達(dá)109W/cm2左右的功率密度。如此高的功率密度，可使任何材料被沖擊部分的溫度，在百萬分之一秒時(shí)間內(nèi)升高到攝氏幾千度以上，熱量還來不及向周圍擴(kuò)散，就已把局部材料瞬時(shí)熔化、氣化直到蒸騰去除。隨著孔不斷變深，電子束焊機(jī)照耀點(diǎn)亦越深入。由于孔的內(nèi)側(cè)壁對(duì)電子束發(fā)生"壁聚集"，所以加工點(diǎn)或許到達(dá)很深的深度，從而可打出很細(xì)很深的微孔。

電子束焊是熔化焊的一種，它運(yùn)用集聚的高速電子束炮擊工件接縫，發(fā)生熱能從而使金屬熔合。真空電子束焊機(jī)提示它包含了機(jī)械、真空、高電壓和電磁場理論、電子光學(xué)、自動(dòng)控制和計(jì)算機(jī)等多學(xué)科技術(shù)。這也是干式螺桿真空泵廠家要講的，真空體系中常用焊接辦法的第三種。

電子束焊技術(shù)早于1948年源起于德國，1952年制作了臺(tái)電子束加工機(jī)，1958年誕生了臺(tái)電子束焊機(jī)。真空電子束焊機(jī)提示它的基本原理是：真空條件下，電子槍發(fā)射的電子束在高電壓（通常是20kV～300kV）加快下（0.3～0.7倍的光速），通過電磁透鏡聚集成高能量密度的電子束，當(dāng)電子束炮擊工件時(shí)，電子的動(dòng)能轉(zhuǎn)化為熱能，焊區(qū)的部分溫度突然上升到6000℃以上，使工件材料熔化，完結(jié)焊接。

電子束焊按被焊工件所在環(huán)境的真空度可分為三種：高真空電子束焊，低真空電子束焊和非真空電子束焊：
高真空電子束焊在10-4～10-1Pa的壓強(qiáng)下進(jìn)行。真空條件，可以對(duì)熔池的“維護(hù)”防止金屬元素的氧化和燒損，適用于活性金屬、難熔金屬和質(zhì)量要求高的工件的焊接。
低真空電子束焊在10-1～10Pa的壓強(qiáng)下進(jìn)行，也具有束流密度和功率密度高的特征。由于只需抽到低真空，縮短了抽真空時(shí)間，提高了出產(chǎn)率，適用于批量大的零件的焊接和在出產(chǎn)線上運(yùn)用。

電子束焊機(jī)還有一些輔佐設(shè)備，比如電子槍，渙散泵以及渦輪分子泵等，作業(yè)時(shí)均會(huì)發(fā)熱，為堅(jiān)持正常作業(yè)，這些都需求用循環(huán)水進(jìn)行冷卻。因此，真空電子束焊機(jī)還需求制作有冷卻水的系統(tǒng)，包括水的凈化過濾及軟扮裝。 其他真空系統(tǒng)各級(jí)閥門一般要求用壓縮空氣，因此需求有供氣系統(tǒng)及凈化壓縮空氣的油水分離設(shè)備。