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關(guān)鍵詞 |
納米銀膏,納米燒結(jié)銀膏,燒結(jié)銀膏,燒結(jié)銀 |
面向地區(qū) |
粘合材料類型 |
金屬類 |
燒結(jié)銀AS9376的致密化率? >95%(常壓燒結(jié)) 減少孔隙率(<2%)提升可靠性
?附著力? ≥45 MPa(劃格法) 抗機(jī)械應(yīng)力(滿足芯片堆疊需求)
燒結(jié)銀AS9376在HPC中的典型應(yīng)用
?1. 芯片間3D堆疊互連
?技術(shù)挑戰(zhàn):
需實(shí)現(xiàn)微米級(jí)TSV(硅通孔)填充和高密度凸點(diǎn)互連,同時(shí)避免傳統(tǒng)熱壓燒結(jié)對(duì)下層芯片的形變影響。
無(wú)壓燒結(jié)銀AS9376用于MEMS慣性傳感器封裝
?技術(shù)挑戰(zhàn):
需兼容MEMS振梁等微結(jié)構(gòu)(尺寸<100 nm),避免高溫高壓導(dǎo)致形變或失效。
?AS9376解決方案:
?低應(yīng)力燒結(jié):燒結(jié)過(guò)程對(duì)硅基板應(yīng)力<5 MPa,振梁諧振頻率偏差<0.5%。
?真空密封:通過(guò)無(wú)壓燒結(jié)實(shí)現(xiàn)氣密性封裝(漏率<1×10?? Pa/m3),壽命>101?次循環(huán)。
?假設(shè)案例:博世MEMS陀螺儀采用AS9376封裝,體積縮小30%,成本降低20%。
無(wú)壓燒結(jié)銀AS9376用于陶瓷基板互連
?技術(shù)挑戰(zhàn):
在AlN/SiC等高導(dǎo)熱陶瓷基板上實(shí)現(xiàn)高密度布線,需材料CTE與基板匹配。
?AS9376解決方案:
?CTE可調(diào)性:通過(guò)玻璃粉組分優(yōu)化(Bi?O?-ZnO-B?O?體系),CTE控制在6 ppm/℃(接近AlN的2.5 ppm/℃)。
?高可靠性:85℃熱沖擊下界面剪切強(qiáng)度>25 MPa,無(wú)開裂。
假設(shè)?案例:用于Xilinx UltraScale+ FPGA陶瓷基板,信號(hào)延遲降低10%。
燒結(jié)銀AS9376實(shí)施建議與驗(yàn)證方法
?燒結(jié)曲線設(shè)計(jì):
推薦兩段式工藝:150℃預(yù)燒結(jié)(5 min)+峰值溫度180℃(3℃/s升溫,10 min保溫)。
燒結(jié)銀AS9376的微觀結(jié)構(gòu):
SEM觀察燒結(jié)后銀層孔隙率(<2%)、晶粒尺寸(<50 nm)。
?電學(xué)性能:
四探針?lè)y(cè)接觸電阻(目標(biāo)<10 mΩ·mm2)和擊穿電壓(>100 V)。
————— 認(rèn)證資質(zhì) —————
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