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半導(dǎo)體晶圓劃片保護(hù)液 |
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DF268切割液采用非離子表面活性劑和其他功能成分配制,可應(yīng)用于半導(dǎo)體晶圓切割工藝。它有效地消除硅塵顆粒,提供低和快速坍塌的泡沫輪廓,有助于阻止?jié)饪s物或低稀釋中的微生物生長活動(dòng),防止腐蝕,減少和中和靜態(tài)電荷。除了清潔,
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晶圓保護(hù)液是一種用于保護(hù)半導(dǎo)體晶圓表面的液體,它可以形成一層保護(hù)膜,防止晶圓表面受到環(huán)境污染或是受到微粒的損傷。
晶圓保護(hù)液的使用方法
1.清洗表面
在使用晶圓保護(hù)液之前,要先清洗晶圓表面。清洗的方法和步驟根據(jù)不同的晶圓類型和工藝要求會(huì)有所不同。在清洗完成之后,要保持表面干燥,并避免使用手指直接觸摸晶圓表面。
2.涂抹液體
將適量的晶圓保護(hù)液滴在晶圓表面,并使用棉簽或者的拋光布將其涂抹均勻。注意涂抹時(shí)不可用力過大,以免損傷晶圓表面。同時(shí),還需要確保涂抹的液體量適當(dāng),不要過多或過少。
3.等待干燥
晶圓保護(hù)液涂抹完成之后,需要等待其干燥。干燥時(shí)間也根據(jù)不同的保護(hù)液品牌和稀釋比例會(huì)有所不同。一般來說,需要等待半個(gè)小時(shí)至一個(gè)小時(shí)左右。
4.存儲(chǔ)
使用完晶圓保護(hù)液后,需要將其存儲(chǔ)在干燥、避光和低溫的環(huán)境中。同時(shí)需要注意,不可與其他化學(xué)物品混合存放,以免影響液體品質(zhì)。
注意事項(xiàng)
1.在涂抹晶圓保護(hù)液時(shí),需要穿戴防靜電衣服和手套,避免靜電對(duì)晶圓造成損害。
2.不要在操作過程中對(duì)晶圓表面施加過大的壓力,避免損傷晶圓表面。
3.每次使用前都需要檢查液體的品質(zhì)和是否過期,否則會(huì)影響保護(hù)效果。
4.不要將晶圓保護(hù)液涂抹在晶圓背面或是邊緣,以免進(jìn)入芯片區(qū)域。
5.晶圓保護(hù)液是一種易燃液體,不可接觸明火。
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